帶您深入理解工業氣體凈化設備的各組成部件特點
更新時間：2025-12-02 點擊量：34
工業氣體凈化設備是保障高純氣體、工藝氣體及壓縮空氣潔凈度的關鍵裝備，廣泛應用于半導體制造、生物醫藥、食品飲料、激光加工及精密焊接等領域。其通過多級過濾與吸附技術，有效去除氣體中的顆粒物、水分、油霧、有機物及有害雜質，確保終端用氣達到ppb級純度要求。設備性能高度依賴各功能模塊的協同運作，深入理解工業氣體凈化設備各組成部件特點，是選型、運維與效能優化的基礎。
一、預過濾單元
通常采用5–40μm精度的纖維或燒結金屬濾芯，用于去除大顆粒粉塵、液態水滴及油霧，保護后級精密元件。具備壓差指示器，當阻力升高至設定值（如0.1MPa）時提示更換，避免堵塞影響流量。
二、深度干燥模塊
冷凍式干燥機：適用于露點要求不高的場合（+3℃至+10℃），通過制冷降溫使水蒸氣冷凝排出；
吸附式干燥機（主流）：采用雙塔結構，填充活性氧化鋁或分子篩，通過變壓（PSA）或變溫（TSA）再生，可將壓力露點降至-40℃、-70℃甚至-100℃，滿足高純工藝需求。
三、精過濾與除油單元
超高效凝聚式過濾器：精度達0.01μm，去除氣溶膠態油霧和微粒，殘余油含量可低至0.001mg/m3；
活性炭吸附層：專用于脫除VOCs、異味及有機蒸汽，常置于干燥后段，防止水分飽和影響吸附效率。
四、催化/化學凈化模塊
針對特定雜質設計：
除氧催化劑（如銅基、鈀基）：在H3存在下將O3轉化為H3O，再由分子篩吸附；
除烴凈化器：高溫催化氧化將CH3等碳氫化合物轉化為CO3和H3O；
酸性氣體吸附柱：填充堿性分子篩或氧化鈣，去除CO3、H3S等。
五、智能控制系統
實時監測進出口壓力、露點、壓差及再生狀態；
自動切換干燥塔、觸發報警（如濾芯堵塞、露點超標）；
支持遠程通信（Modbus、4G），接入工廠能源管理系統。
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